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真空干燥裝置
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簡單介紹
真空干燥裝置 Heating process in vacuum is available. This system is, especially, best suited for such a device that needs the process in vacuum as the organic EL.
真空干燥裝置
的詳細(xì)介紹
真空干燥裝置:
Heating process in vacuum is available.
This system is, especially, best suited for such a device that needs the process in vacuum as the organic EL.
It is available for the 10th generation.
This system is available to apply such various kinds of process patterns as vacuum load lock connecting or the combined system with the robot to transfer the substrate.
Available glass size
~W3000×L3200mm
Temperature range
RT~250℃
Temperature uniformity
±3℃
Cleanliness
Class 10 (0.3μm)
Applications
Dehydration baking, Drying of solvent, Annealing
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