VPC-050（空冷型）

極限壓力

1.5X10^-4(使用液氮時)
7.0 X 10^-4(未使用液氮時)

排氣系統(tǒng)

●空冷油擴散泵(DPF-050)50L/sec
●油旋片泵(G-20DA)20L/min
●主閥門25A蝴蝶閥
●10A三向切換閥門
●漏閥
●真空計接口（18φ傳感器用）

電源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm(長)×316mm(寬)×350mm(高)

選購件

1．液氨冷阱
2．粗測量真空計接口（18φ用）
3．帶法蘭軟管口（VF25、O.D.10φ）
4．帶法蘭軟管口（VF25、O.D.15φ）
5．帶法蘭速裝連接器（VF25,KF-25）
6．油霧過濾器（OMT-050A）
7．真空計
*請根據(jù)用途挑選選購件

VPC-050A（空冷自動型型）

極限壓力

1.5X10^-4(使用液氮時)
7.0 X 10^-4(未使用液氮時)

排氣系統(tǒng)

●空冷油擴散泵(DPF-050)50L/sec
●油旋片泵(G-20DA)20L/min
●主閥門25A蝴蝶閥
●10A三向切換閥門
●漏閥
●真空計接口（18φ傳感器用）

電源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm(長)×316mm(寬)×350mm(高)

選購件

1．液氨冷阱
2．粗測量真空計接口（18φ用）
3．帶法蘭軟管口（VF25、O.D.10φ）
4．帶法蘭軟管口（VF25、O.D.15φ）
5．帶法蘭速裝連接器（VF25,KF-25）
6．油霧過濾器（OMT-050A）
7．真空計
*請根據(jù)用途挑選選購件

VPC-250F（空冷型）

極限壓力

10^-5(使用液氮時)
10^-4(未使用液氮時)

排氣系統(tǒng)

●空冷油擴散泵(DPF-050)200L/sec
●油旋片泵(G-100D)100L/min
●主閥門25A蝴蝶閥
●20A三向切換閥門
●漏閥（氣體導入兼用）
●真空計接口（18φ傳感器用）

電源

100V1φ1.35kVA

重量

50kg

外形尺寸

530mm(長)×480mm(寬)×735mm(高)

選購件

1．液氨冷阱
2．油霧過濾器（OMT-100A）
3．排氣口過濾器（OMI-100）
4．真空計
*請根據(jù)用途挑選選購件

VPC-400（水冷型）

極限壓力

1.5X10^-5(使用液氮時)
7.0 X 10^-4(未使用液氮時)

排氣系統(tǒng)

●空冷油擴散泵（３英吋）400L/sec
●油旋片泵（GLD-201A）200L/min
●主閥門25A蝴蝶閥
●20A三向切換閥門（粗抽、輔助抽切換用）
●漏閥（氣體導入兼用）
●真空計接口（18φ傳感器用）

電源

200V3φ1.36kVA

所要水量

2L/min

重量

16kg

外形尺寸

530mm(長)×480mm(寬)×780mm(高)

選購件

1．液氨冷阱
2．油霧過濾器
3．排氣口過濾器
4．真空計
*請根據(jù)用途挑選選購件

VPT-050

極限壓力

1.3X10^-4

排氣系統(tǒng)

●渦輪分子泵50L/sec
●油旋片真空泵GVD-050A
（50L/min，代防返油閥）
●主閥門（插板閥）65A
●真空計接口(18φ傳感器用2個)
●放氣用閥門(氣體導入兼用 1個)
　 SS角鋼制 噴漆處理
●主開關TMPPowerSupply
●R.P.油泵用開關

電源

100V1φ0.75kVA

重量

45kg

外形尺寸

325mm(長)×450mm(寬)×700mm(高)

選購件

1．油霧過濾器
2 ．各種真空計
*請根據(jù)用途挑選選購件