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產(chǎn)品[

Model 206A

]資料
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產(chǎn)品名稱: Model 206A
產(chǎn)品型號: Model 206A
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
Model 206A No.1 share in domestic market Handles 100 to 200 mm square wafer Batch: 200 to 400 wafers processing is available(depends on flat zone length and wafer pitch)


Model 206A的詳細介紹

Model 206A:

 
  • No.1 share in domestic market
  • Handles 100 to 200 mm square wafer
  • Batch: 200 to 400 wafers processing is available(depends on flat zone length and wafer pitch)
  • First heating up and cooling down, reduced power by KTS' exclusive LGO heater
 
Outer dimension W850×L6700×H2500mm (three-stage furnace)
HeaterLGO heater
Flat zone length1000mm
Temp. control3~5 Zone
Transfer equipmentBoat loader
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