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產(chǎn)品[

高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器

]資料
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產(chǎn)品名稱: 高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器
產(chǎn)品型號(hào): TEX-25A
產(chǎn)品展商: 日本TAITEC
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器 TEX-25A ·氟作為專用熱媒、控制循環(huán)裝置加熱溫度 ·半導(dǎo)體制造裝置的加熱溫度控制 ·化學(xué)制品的生產(chǎn)系統(tǒng)加熱溫度控制 ·無(wú)液漏之憂的泵,通過逆變器進(jìn)行控制


高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器的詳細(xì)介紹

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高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器

TEX-25A

氟作為專用熱媒、控制循環(huán)裝置加熱溫度



主要用途

●半導(dǎo)體制造裝置的加熱溫度控制
●化學(xué)制品的生產(chǎn)系統(tǒng)加熱溫度控制

 

主要特點(diǎn)

氟作為專用熱媒,控制高溫度領(lǐng)域

氟作為熱媒介專用設(shè)計(jì),可在+70℃~+200的高溫度內(nèi)準(zhǔn)確的控制加熱溫度(冷卻用途不能使用)。

無(wú)液漏之憂的泵,通過逆變器進(jìn)行控制

使用了磁鐵耦合型密封泵,無(wú)液體泄漏。

可短時(shí)間內(nèi)降溫

冷卻線圈中一次冷卻水在循環(huán)時(shí),維修保養(yǎng)時(shí)可在短時(shí)間降低溫度。


技術(shù)參數(shù)

型號(hào) TEX-25A
使用溫度范圍 +70℃~+200℃
溫度調(diào)節(jié)精度 PID控制、±2.0℃(*1)
功率輸出 2.5kW
泵能力 流量:10L/min(0.2MPa、60Hz時(shí))
功率輸出:0.75kW
升溫/降溫時(shí)間 升溫時(shí)間(+70℃→+200℃):約30分(冷卻水OFF)
降溫時(shí)間(+200℃→+70℃):約25分(冷卻水ON)
冷卻水條件:約8L/min at +20℃(*2)
安全器/安全功能 漏電斷路器、高溫、溫度異常、防止空燒、液面上限、泵超負(fù)荷
輸入/輸出功能 遠(yuǎn)程信號(hào)輸入、加熱器ON/OFF輸入、冷卻水ON/OFF輸入、溫度監(jiān)視器信號(hào)輸出、安全器操作信號(hào)外部輸出
適用熱媒體(循環(huán)液) GALDEN HT270
循環(huán)液罐容量 約3L(+備用罐:約7L)
配管連接口徑(循環(huán)液出入口、一次冷卻水出入口) Rc1/2、Rc1/2
外形尺寸 405×692×811Hmm
重量 約80kg
電源 三相AC200V?50/60Hz?15A
運(yùn)轉(zhuǎn)電流 12A
(*1)裝置單體無(wú)負(fù)荷情況下,循環(huán)流量在5L/min以上。

(*2)裝置單體無(wú)負(fù)荷情況下。

本產(chǎn)品使用環(huán)境溫度范圍為+7+35

●本機(jī)為大型、重量機(jī)器,運(yùn)送、安裝等費(fèi)用需另付。



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